EUV 핵심 부품 펠리클, 日 미쓰이 독주 체제 굳어지나 차세대 제품 양산 소식에 韓 부품업계 위기 日 미쓰이화학, EUV용 펠리클 독점 벨기에 아이멕과 하이 NA EUV용 CNT 펠리클도 개발 韓 부품사와 기술 격차 벌어져