화웨이, 꿈의 장비 노광기 개발 박차... 대규모 반도체 장비 R&D센터 건설 中 상하이 반도체 R&D 센터서 노광장비 개발 목표 화웨이·中 장비기업, 첨단 반도체 장비 개발 협업 현재 中 노광 기술 90㎚에 불과 글로벌 부품망 확보 필수